|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001375925 |
| 005 |
20170412143420.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20170412d1975 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Свойства маскирующих пленок в производстве фотошаблонов
$f И. Н. Рубцов, А. Е. Лихтман, Г. И. Сапегин
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1975
|
| 215 |
# |
# |
$a 60, [2] с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$i Серия: Полупроводниковые приборы
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1975, вып. 4
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 54―60 (114 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1880 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br78453
$1 2001
$v 1975, вып. 4
|
| 700 |
# |
1 |
$a Рубцов
$b И. Н.
$g Иван Николаевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Лихтман
$b А. Е.
|
| 701 |
# |
1 |
$a Сапегин
$b Г. И.
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170403
$g psbo
|
