Газовая полировка кремня / Б. В. Орион, И. М. Скворцов, Л. В. Кожитов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Орион, Б. В. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1971 |
| Физические характеристики: |
22 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1971, вып. 8 |
1971, №8: Газовая полировка кремния / Орион Б. В.
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||