Газовая полировка кремня / Б. В. Орион, И. М. Скворцов, Л. В. Кожитов

Сохранено в:
Шифр документа: 110737-22,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Орион, Б. В.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1971
Физические характеристики: 22 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1971, вып. 8
Загрузка