Газовая полировка кремня / Б. В. Орион, И. М. Скворцов, Л. В. Кожитов

Сохранено в:
Шифр документа: 110737-22,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Орион, Б. В.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1971
Физические характеристики: 22 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1971, вып. 8
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001375862
005 20170412134537.0
100 # # $a 20170412d1971 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Газовая полировка кремня  $f Б. В. Орион, И. М. Скворцов, Л. В. Кожитов 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1971 
215 # # $a 22 с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $i Серия: Полупроводниковые приборы  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1971, вып. 8 
320 # # $a Библиография: с. 19―21 (28 назв.) 
345 # # $9 1500 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br78453  $1 2001   $v 1971, вып. 8 
700 # 1 $a Орион  $b Б. В. 
701 # 1 $a Скворцов  $b И. М. 
701 # 1 $a Кожитов  $b Л. В. 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170403  $g psbo