Проекционная электронная литография: (аналитический обзор) / [В. В. Бачурин, А. К. Бельков, А. И. Пыхтунова]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Бачурин, В. В. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1980 |
| Физические характеристики: |
68 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1980, вып. 1 |
Загрузка