Аппаратура для диффузии и эпитаксии: (по материалам отечественной и зарубежной печати за 1969―1972 гг.) / В. М. Гришин [и др.]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Гришин, В. М. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1975 |
| Физические характеристики: |
43, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1975, вып. 3 |
Загрузка