Влияние термического окисления на образование дефектов структуры в монокристаллическом кремнии: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1968―1984 гг.) / А. П. Карацюба, Т. М. Тимашева
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Карацюба, А. П. |
| Published: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1985 |
| Physical Description: |
37 с. : ил. ; 21 см
|
| Language: | Russian |
| Series: |
Обзоры по электронной технике
1985, вып. 1 |
1985, №1: Влияние термического... / Карацюба А. П., Тимашева Т. П.
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||