Влияние термического окисления на образование дефектов структуры в монокристаллическом кремнии: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1968―1984 гг.) / А. П. Карацюба, Т. М. Тимашева
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Карацюба, А. П. |
| Апублікавана: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1985 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
37 с. : ил. ; 21 см
|
| Мова: | Руская |
| Серыя: |
Обзоры по электронной технике
1985, вып. 1 |
1985, №1: Влияние термического... / Карацюба А. П., Тимашева Т. П.
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||