Процессы отмывки кремниевых подложек в производстве полупроводниковых приборов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1970―1983 гг.) / А. Е. Шуляковский, В. С. Сотников, В. И. Иванов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Шуляковский, А. Е. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1984 |
| Физические характеристики: |
72 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1984, вып. 2 |
Загрузка