|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001373797 |
| 005 |
20170404142329.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20170404d1984 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Процессы отмывки кремниевых подложек в производстве полупроводниковых приборов
$e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1970―1983 гг.)
$f А. Е. Шуляковский, В. С. Сотников, В. И. Иванов
$g [научный редактор М. А. Верников]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1984
|
| 215 |
# |
# |
$a 72 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 2
$i Полупроводниковые приборы
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1984, вып. 2
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 64―71 (140 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1920 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br78453
$1 2001
$v 1984, вып. 2
|
| 700 |
# |
1 |
$a Шуляковский
$b А. Е.
$g Александр Ефимович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Сотников
$b В. С.
$g Василий Семенович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Иванов
$b В. И
$g Виктор Ильич
|
| 702 |
# |
1 |
$a Верников
$b М. А.
$4 340
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170404
$g psbo
|
