Силициды тугоплавких металлов в технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем. Ч. 2: (по данным отечественной и зарубежной литературы за период с 1975 по 1981 г.) / Е. Е. Качурина, В. И. Мякиненков, В. В. Щеглова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Качурина, Е. Е. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1982 |
| Физические характеристики: |
36 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1982, вып. 7 |
Загрузка