Силициды тугоплавких металлов в технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем. Ч. 2: (по данным отечественной и зарубежной литературы за период с 1975 по 1981 г.) / Е. Е. Качурина, В. И. Мякиненков, В. В. Щеглова

Сохранено в:
Шифр документа: 182795-7,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Качурина, Е. Е.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1982
Физические характеристики: 36 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1982, вып. 7
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001373644
005 20170404102731.0
100 # # $a 20170404d1982 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Силициды тугоплавких металлов в технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем. Ч. 2  $e (по данным отечественной и зарубежной литературы за период с 1975 по 1981 г.)  $f Е. Е. Качурина, В. И. Мякиненков, В. В. Щеглова 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1982 
215 # # $a 36 с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $h Серия 2  $i Полупроводниковые приборы  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1982, вып. 7 
320 # # $a Библиография: с. 34―36 (36 назв.) 
345 # # $9 1950 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br78453  $1 2001   $v 1982, вып. 7 
700 # 1 $a Качурина  $b Е. Е.  $g Евгения Ефимовна 
701 # 1 $a Мякиненков  $b В. И.  $g Вячеслав Иванович 
701 # 1 $a Щеглова  $b В. В.  $g Валентина Викторовна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170404  $g psbo 

Схожие документы