Термическое оборудование полупроводникового и микроэлектронного производства с лучистым инфракрасным нагревом. Ч. 2 / [Д. Б. Зворыкин и др.
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Зворыкин, Д. Б. |
Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1975 |
Физические характеристики: |
81 с. : ил. ; 21 см
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Обзоры по электронной технике
1975, вып. 12 |
1975, №12: Термическое оборудование полупроводникового... Ч.II
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|