Термическое оборудование полупроводникового и микроэлектронного производства с лучистым инфракрасным нагревом. Ч. 2 / [Д. Б. Зворыкин и др.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Зворыкин, Д. Б. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1975 |
| Физические характеристики: |
81 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1975, вып. 12 |
Загрузка