|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001373592 |
| 005 |
20170404090335.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20170404d1975 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Термическое оборудование полупроводникового и микроэлектронного производства с лучистым инфракрасным нагревом. Ч. 1
$f [Д. Б. Зворыкин и др.
$g под общей редакцией Д. Б. Зворыкина]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1975
|
| 215 |
# |
# |
$a 85 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 2
$i Полупроводниковые приборы
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1975, вып. 11
|
| 300 |
# |
# |
$a Авторы указаны на обложке
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 77―85 (129 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1880 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br78453
$1 2001
$v 1975, вып. 11
|
| 700 |
# |
1 |
$a Зворыкин
$b Д. Б.
$g Дмитрий Борисович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170403
$g psbo
|
