Электронная литография: аналитический обзор: (по данным отечественной и зарубежной литературы за 1977―1980 гг.) / В. К. Попов, М. С. Виноградова
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Попов, В. К. |
| Veröffentlicht: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1981 |
| Beschreibung: |
54 с. : ил. ; 21 см
|
| Sprache: | Русский |
| Schriftenreihe: |
Обзоры по электронной технике
1981, вып. 11 |
1981, Вып.11: Электронная литография
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||