|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001315721 |
| 005 |
20161110142023.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20160908d2016 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Импульсный биполярный источник питания для магнетронных распылительных систем
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.09.12 Силовая электроника
$f Оскирко Владимир Олегович
$g [Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники]
|
| 210 |
# |
# |
$a Томск
$d 2016
|
| 215 |
# |
# |
$a 20 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 19—20
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12168
$a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar5223798
$a ВАКУУМНОЕ НАПЫЛЕНИЕ В ПЛАЗМЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4777100
$a МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4296086
$a ИМПУЛЬСНЫЕ ИСТОЧНИКИ ПИТАНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36293
$a ФОРМИРОВАТЕЛИ ИМПУЛЬСОВ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.29.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.20.15
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.09.12
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar11418956
$a Оскирко
$b В. О.
$g Владимир Олегович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20160908
$g psbo
|
