|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001303639 |
| 005 |
20160824132558.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20160711d2016 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка и исследование физико-технологических моделей многослойных тепловых микроактюаторов
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Евстафьев Сергей Сергеевич
$g [Национальный исследовательский университет "МИЭТ"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2016
|
| 215 |
# |
# |
$a 22, [1] с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце текста.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2381861
$a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar5036566
$a МИКРОАКТЮАТОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18108
$a РАСЧЕТА МЕТОДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2113377
$a МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar38754
$a ЭКСПЛУАТАЦИОННЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 45.37
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 50.09.37
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 50.09.39
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 59.31.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 59.14.19
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar10958631
$a Евстафьев
$b С. С.
$g Сергей Сергеевич
$c электроника
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20160711
$g psbo
|
