|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001294884 |
| 005 |
20160726085509.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20160527d2016 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Свойства тонких пленок оксида титана (TiO2) и аморфного углерода (a-C), осажденных с помощью дуальной магнетронной распылительной системы
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния
$f Юрьев Юрий Николаевич
$g [Национальный исследовательский Томский политехнический университет]
|
| 210 |
# |
# |
$a Томск
$d 2016
|
| 215 |
# |
# |
$a 22 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 21—22
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3130678
$a ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННЫХ СРЕД
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4246637
$a ОКСИДЫ ТИТАНА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar5223798
$a ВАКУУМНОЕ НАПЫЛЕНИЕ В ПЛАЗМЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4777100
$a МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.07
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.03
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.20
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22.29
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar10916990
$a Юрьев
$b Ю. Н.
$g Юрий Николаевич
$c физика
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20160527
$g psbo
|
