|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001277605 |
| 005 |
20220414180623.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20160324d2004 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
$d eng
$d bel
$d rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Формирование из газовой фазы диэлектрических и проводящих слоев, интегрированных в твердотельные структуры микроэлектроники
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$f Турцевич Аркадий Степанович
$g Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$d 2004
|
| 215 |
# |
# |
$a 26 с.
$c ил.
|
| 300 |
# |
# |
$a Резюме на белорусском, русском, английском языках
|
| 311 |
# |
# |
$a В фонде НББ имеется диссертация
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 17—23 (61 назв.)
|
| 488 |
# |
0 |
$1 001BY-NLB-br747108
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1756760
$a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar19558
$a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2493283
$a ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar32976
$a ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34171
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4914454
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3:621.793.16(043.3)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 nsnrrb
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22.01
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2502584
$a Турцевич
$b А. С.
$g Аркадий Степанович
$c доктор технических наук
$f род. 1958
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar186905
$a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
$c Минск
$4 995
$4 595
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-RLST-ar139098
$a "Интеграл"
$g научно-производственное объединение
$c Минск
$b Филиал "Транзистор"
$4 595
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20160324
$g RCR
|
| 830 |
# |
# |
$a 30.12.2004
|
| 856 |
4 |
# |
$u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br0001277605&fileID=5973381
|
