|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001243800 |
| 005 |
20230125163145.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20151125d2015 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование и разработка процесса плазмостимулированного химического осаждения углеродных наноструктур из монооксида углерода
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Дубков Сергей Владимирович
$g [Национальный исследовательский университет "МИЭТ"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2015
|
| 215 |
# |
# |
$a 22 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 17—22
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2916742
$a УГЛЕРОДНЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2232073
$a ОКСИД УГЛЕРОДА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2445715
$a СИНТЕЗ (хим.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1607655
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2764600
$a СВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2743697
$a ИСПОЛЬЗОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39112
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 81.13.30
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 81.09.30
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 81.09.03
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar9909126
$a Дубков
$g Сергей Владимирович
$b С. В.
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20151125
$g RCR
|
