Проектирование и изготовление микроэлектромеханических переключателей на подложках GaAs для СВЧ диапазона: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Щаврук Николай Васильевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//196417(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Щаврук, Н. В.
Опубликовано: Москва , 2015
Физические характеристики: 26 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001240050
005 20160301151501.0
100 # # $a 20151113d2015 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Проектирование и изготовление микроэлектромеханических переключателей на подложках GaAs для СВЧ диапазона  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах  $f Щаврук Николай Васильевич  $g [Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники Российской академии наук] 
210 # # $a Москва  $d 2015 
215 # # $a 26 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 24—26 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2125682  $a СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2381861  $a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2136507  $a КОММУТАТОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6867145  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18108  $a РАСЧЕТА МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar25811  $a ПРОЕКТИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.14.13  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.10  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar10288737  $a Щаврук  $b Н. В.  $g Николай Васильевич  $c кандидат технических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20151113  $g psbo