Разработка систем комбинированного анализа поверхности твердого тела методами электронной оже-спектроскопии и масс-спектрометрии вторичных ионов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.02 Вакуумная и плазменная электроника / Тарабрин Дмитрий Юрьевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//196041(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Тарабрин, Д. Ю.
Опубликовано: Рязань , 2015
Физические характеристики: 16, [1] с., включая обложку : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001238895
005 20160226071825.0
100 # # $a 20151111d2015 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Разработка систем комбинированного анализа поверхности твердого тела методами электронной оже-спектроскопии и масс-спектрометрии вторичных ионов  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.02 Вакуумная и плазменная электроника  $f Тарабрин Дмитрий Юрьевич  $g [Рязанский государственный радиотехнический университет] 
210 # # $a Рязань  $d 2015 
215 # # $a 16, [1] с., включая обложку  $c ил. 
320 # # $a Библиография в конце текста (13 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar45117  $a НАНОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar56685  $a ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5215553  $a МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЯ ВТОРИЧНЫХ ИОНОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5999067  $a КОМБИНИРОВАННЫЕ МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar32988  $a ТВЕРДЫЕ ТЕЛА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23904  $a ПОВЕРХНОСТИ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.02  $2 oksvnk 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.01.81  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar9703805  $a Тарабрин  $b Д. Ю.  $g Дмитрий Юрьевич  $c кандидат технических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20151111  $g psbo