|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001229797 |
| 005 |
20151126171753.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20151015d2015 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка и создание аппаратуры для бесконтактного измерения электрофизических параметров полупроводниковых материалов
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Щемеров Иван Васильевич
$g [Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2015
|
| 215 |
# |
# |
$a 26 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 24—26
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24588
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39284
$a ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3159584
$a БЕСКОНТАКТНЫЕ ИЗМЕРЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11337
$a ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ПРИБОРЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 81.09.03
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 90.27.34
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 59.29
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar9906651
$a Щемеров
$g Иван Васильевич
$b И. В.
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20151015
$g psbo
|
