|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
001 |
BY-NLB-br0001216698 |
005 |
20230615103432.0 |
100 |
# |
# |
$a 20150826d2015 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Влияние неоднородности фазового состава диэлектрической подложки на процесс лазерного осаждения меди из раствора
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Тумкин Илья Игоревич
$g [Институт химии, Санкт-Петербургский государственный университет ]
|
210 |
# |
# |
$a Санкт-Петербург
$d 2015
|
215 |
# |
# |
$a 23 с.
$c ил.
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 21—23
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24113
$a ПОДЛОЖКИ (электроника)
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar9579
$a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar19558
$a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17968
$a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17608
$a МЕДЬ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22114
$a ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3351361
$a ЛАЗЕРНО-ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar14472967
$a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПОДЛОЖКИ
$2 DVNLB
|
610 |
0 |
# |
$a лазерно-индуцированное осаждение металлов из растворов
|
610 |
0 |
# |
$a лазерна-індуцыраванае асаджэнне металаў з раствораў
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.35
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 55.22.19
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 55.20.99
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar9372887
$a Тумкин
$g Илья Игоревич
$b И. И.
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20150826
$g RCR
|