Технология тонкопленочных солнечных модулей большой площади на основе аморфного и микрокристаллического кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Семенов Александр Вячеславович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//192207(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Семенов, А. В.
Опубликовано: Санкт-Петербург , 2015
Физические характеристики: 18 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001201767
005 20151007160312.0
100 # # $a 20150610d2015 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Технология тонкопленочных солнечных модулей большой площади на основе аморфного и микрокристаллического кремния  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники  $f Семенов Александр Вячеславович  $g [Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ им. В. И. Ульянова (Ленина)"] 
210 # # $a Санкт-Петербург  $d 2015 
215 # # $a 18 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 16—18 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2775397  $a СОЛНЕЧНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36470  $a ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6726825  $a ГИДРИРОВАННЫЙ АМОРФНЫЙ КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1607655  $a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33914  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2764600  $a СВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.29.31  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.13.09  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 55.22.23  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar9069267  $a Семенов  $b А. В.  $g Александр Вячеславович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20150610  $g psbo