Моделирование процессов самоорганизации наноструктур при ионном распылении поверхности полупроводников: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 05.13.18 Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ / Метлицкая Алена Владимировна

Сохранено в:
Шифр документа: 2//184147(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Метлицкая, А. В.
Опубликовано: Ярославль , 2014
Физические характеристики: 29, [1] с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001154451
005 20220412162043.0
100 # # $a 20141204d2014 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a y m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Моделирование процессов самоорганизации наноструктур при ионном распылении поверхности полупроводников  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 05.13.18 Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ  $f Метлицкая Алена Владимировна  $g [Ярославский государственный университет им. П. Г. Демидова] 
210 # # $a Ярославль  $d 2014 
215 # # $a 29, [1] с. 
320 # # $a Библиография: с. 27—30 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23928  $a ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12174  $a ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1587630  $a РЕЛЬЕФ ПОВЕРХНОСТИ (техн.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2665900  $a НАНОСТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2113377  $a МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.22.01  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.20.15  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.01.77  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.22  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.13.18  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar8250485  $a Метлицкая  $b А. В.  $g Алена Владимировна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20141204  $g RCR