
Особенности структуры тонких пленок SiC, формируемых методом импульсного лазерного осаждения на подложках Si и Al2O3: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Рындя Сергей Михайлович
Gespeichert in:
Format: | |
---|---|
1. Verfasser: | Рындя, С. М. |
Veröffentlicht: | Москва , 2014 |
Beschreibung: |
24 с. : ил.
|
Sprache: | Русский |
Schlagworte: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|