|
|
|
|
|
00000cbm0a2200000 id4500 |
001 |
BY-NLB-br0001102281 |
005 |
20140818133915.0 |
100 |
# |
# |
$a 20140723h20132014k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a BY
|
105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ab
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Особенности формирования микро- и нанорельефа поверхности монокристаллического кремния при химическом растворении
$e диссертация на соискание ученой степени кандидата химических наук
$e специальность 02.00.04 Физическая химия
$f Усенко Александра Евгеньевна
$g научный руководитель Юхневич Анатолий Викторович
$g Белорусский государственный университет, Учреждение Белорусского государственного университета, "Научно-исследовательский институт физико-химических проблем"
|
210 |
# |
# |
$a Минск
$d 2013
|
215 |
# |
# |
$a 154, [1] л.
$c ил., табл.
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: л. 131—149
|
328 |
# |
0 |
$d Защищена 21.01.2014, утверждена 14.05.2014
|
488 |
# |
0 |
$1 001BY-RLST-kn-430839
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35921
$a ФИЗИЧЕСКАЯ ХИМИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3341921
$a МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1587630
$a РЕЛЬЕФ ПОВЕРХНОСТИ (техн.)
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2079095
$a МИКРОРЕЛЬЕФ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4761179
$a НАНОШЕРОХОВАТОСТЬ ПОВЕРХНОСТИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36833
$a ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4791765
$a ФТОРИСТОВОДОРОДНАЯ КИСЛОТА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6849327
$a ГИДРОКСИД КАЛИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24610
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ КРИСТАЛЛЫ
$2 DVNLB
|
615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
675 |
# |
# |
$a 546.28:544.227.032.72/.73(043.3)
$v 4
$z rus
|
675 |
# |
# |
$a 537.311.322:539.211(043.3)
$v 4
$z rus
|
675 |
# |
# |
$a 621.315.592:546.28:621.794.4(043.3)
$v 4
$z rus
|
686 |
# |
# |
$a 31.15.19
$2 rugasnti
$v 6
|
686 |
# |
# |
$a 31.15.31
$2 rugasnti
$v 6
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$2 rugasnti
$v 6
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$2 rugasnti
$v 6
|
686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$2 rugasnti
$v 6
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
$v 6
|
686 |
# |
# |
$a 02.00.04
$2 nsnrrb
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-RLST-ar598722
$a Усенко
$b А. Е.
$g Александра Евгеньевна
$c кандидат химических наук
$f род. 1982
|
702 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-195191
$a Юхневич
$b А. В.
$g Анатолий Викторович
$c кандидат физико-математических наук
$f род. 1936
$4 727
|
712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar167094
$a Белорусский государственный университет
$c Минск
$4 995
$4 595
|
712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar80910
$a Научно-исследовательский институт физико-химических проблем
$c Минск
$4 595
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0001
$c 20140104
$g psbo
|
856 |
4 |
# |
$u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br0001102281&fileID=9373970
|