Получение нанопорошков в высокочастотном разряде при атмосферном давлении: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Кретушева Ирина Васильевна

Сохранено в:
Шифр документа: 2//173158(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Кретушева, И. В.
Опубликовано: Санкт-Петербург , 2013
Физические характеристики: 18 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001076856
005 20140708143519.0
100 # # $a 20140530d2013 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Получение нанопорошков в высокочастотном разряде при атмосферном давлении  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники  $f Кретушева Ирина Васильевна  $g [Санкт-Петербургский государственный политехнический университет] 
210 # # $a Санкт-Петербург  $d 2013 
215 # # $a 18 с.  $c ил. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2289608  $a НАНОМАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2656900  $a УЛЬТРАДИСПЕРСНЫЕ ПОРОШКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33920  $a ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2493283  $a ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1607655  $a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1790749  $a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЙ СИНТЕЗ  $2 DVNLB 
686 # # $a 81.09.30  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 55.22.01  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar7558926  $a Кретушева  $b И. В.  $g Ирина Васильевна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20140530  $g psbo