Проблемы линейных измерений микрообъектов в нанометровом и субмикронном диапазонах: [сборник статей] / ответственный редактор А. В. Раков
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Наука , 1995 |
| Физические характеристики: |
162, [5] с. : ил. ; 24 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Труды Института общей физики
т. 49 |
Загрузка