|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001049375 |
| 005 |
20140325162107.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20140325d1986 |||y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a SU
|
| 105 |
# |
# |
$a y ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Перспективные методы технологии и контроля в микроэлектронике
$f В. В. Демиденко
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c Информприбор
$d 1986
|
| 215 |
# |
# |
$a 5, [3] с.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Приборы, средства автоматизации и системы управления
$e экспресс-информация
$h ТС-9
$i Экономика и технология приборостроения
$f Всесоюзный научно-исследовательский институт информации и экономики
$x 0203-2465
$v вып. 12-1986
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце статей
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br61448
$1 2001
$v Вып. 12
|
| 700 |
# |
1 |
$a Демиденко
$b В. В.
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20130802
$g psbo
|
