Вакуумно-плазменная СВЧ разрядная система резонаторного типа для плазмохимического удаления фоторезистивных слоев: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Мадвейко Сергей Игоревич

Сохранено в:
Шифр документа: 26Н//4428(039), ##32Н//295577CD(055),
Вид документа: Диссертации
Автор: Мадвейко, С. И. (род. 1984)
Опубликовано: Минск , 2013
Физические характеристики: 148 л.
Язык: Русский
Предмет:
ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ
ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
ПЛАЗМОТРОНЫ
СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
СВЧ ПЛАЗМА
КОНСТРУКТИВНЫЕ РЕШЕНИЯ
ТЕХНИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ
Е-документ: E-документ
00000cbm0a2200000 id4500
001 BY-NLB-br0001046945
005 20140827122718.0
100 # # $a 20140319h20132013k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a y m 000yy 
109 # # $a ab  $a aa 
200 1 # $a Вакуумно-плазменная СВЧ разрядная система резонаторного типа для плазмохимического удаления фоторезистивных слоев  $e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники  $f Мадвейко Сергей Игоревич  $g научный руководитель Бордусов С. В.  $g Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" 
210 # # $a Минск  $d 2013 
215 # # $a 148 л. 
320 # # $a Библиография: л. 133—144 
328 # 0 $d Защищена 24.10.2013, утверждена 05.02.2014 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br0000987070 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3364070  $a ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23669  $a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33890  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23665  $a ПЛАЗМОТРОНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2125682  $a СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1715174  $a СВЧ ПЛАЗМА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3321655  $a КОНСТРУКТИВНЫЕ РЕШЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33808  $a ТЕХНИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33914  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.7/.9.047/.048.06:621.387.143.029.6(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.387.143.029.6(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 55.20.15  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 55.20.99  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.29.33  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.45  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.14.05  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.14.13  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 05.27.06  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-NLB-br4883719  $a Мадвейко  $b С. И.  $g Сергей Игоревич  $c кандидат технических наук  $f род. 1984 
702 # 1 $3 BY-NLB-ar2634921  $a Бордусов  $b С. В.  $g Сергей Валентинович  $c доктор технических наук  $f род. 1955  $4 727 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar186905  $a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники  $c Минск  $4 995  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20131001  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br0001046945&fileID=9383487 

Схожие документы