|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001001378 |
| 005 |
20131220134820.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20131113d2013 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Научные основы расчета и выбора режимов формирования в вакууме защитных покрытий со сверхнизким трением
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Ноженков Михаил Владимирович
$g [Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2013
|
| 215 |
# |
# |
$a 32 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 30—32
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar10861
$a ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34564
$a ТРЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18108
$a РАСЧЕТА МЕТОДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar9719
$a ДОЛГОВЕЧНОСТЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar19558
$a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar59840
$a КОМПОЗИЦИОННЫЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39250
$a ЭЛЕКТРОТЕХНИЧЕСКАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 81.33.35
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22.23
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 45.01
$2 rugasnti
$v 6
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar6692613
$a Ноженков
$b М. В.
$g Михаил Владимирович
$c доктор технических наук
$f род. 1954
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20131113
$g psbo
|
