|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000986051 |
| 005 |
20131029154927.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20130926d2013 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Оптимизация процесса роста монокристаллов карбида кремния на затравках различных кристаллографических ориентаций
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Фадеев Алексей Юрьевич
$g [Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)]
|
| 210 |
# |
# |
$a Санкт-Петербург
$d 2013
|
| 215 |
# |
# |
$a 18 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 17—18
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17342
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18851
$a МОНОКРИСТАЛЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2187791
$a КАРБИД КРЕМНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar42268
$a ВЫРАЩИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar28578
$a РОСТ КРИСТАЛЛОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar87382
$a ДЕФЕКТЫ В КРИСТАЛЛАХ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar21799
$a ОПТИМИЗАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.03
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.04
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.11
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar6653905
$a Фадеев
$b А. Ю.
$g Алексей Юрьевич
$c электроника
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20130926
$g psbo
|
