Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Линник Степан Андреевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//155097(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Линник, С. А.
Опубликовано: Томск , 2013
Физические характеристики: 24 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000953565
005 20130727124121.0
100 # # $a 20130607d2013 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния  $f Линник Степан Андреевич  $g [Национальный исследовательский Томский политехнический университет] 
210 # # $a Томск  $d 2013 
215 # # $a 24 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 24 (7 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3130678  $a ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННЫХ СРЕД  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3171255  $a ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar64787  $a АЛМАЗНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1607655  $a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34032  $a ТЛЕЮЩИЕ РАЗРЯДЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 01.04.07  $2 oksvnk 
686 # # $a 29.19.03  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.27.51  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 45.09.39  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar6268046  $a Линник  $b С. А.  $g Степан Андреевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20130607  $g psbo