|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000946686 |
| 005 |
20130701171518.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20130517d2013 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленочных гетерокомпозиций
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Курочка Александр Сергеевич
$g [Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2013
|
| 215 |
# |
# |
$a 24 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 22—24 (16 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17342
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34169
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar14222
$a КОМПОЗИЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1578239
$a ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2451365
$a ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar65279
$a КОНТРОЛЬ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar20472
$a НЕРАЗРУШАЮЩИЙ КОНТРОЛЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2451391
$a ИОННО-ЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.53
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.81
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.35.37
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-RLST-ar440611
$a Курочка
$b А. С.
$g Александр Сергеевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20130517
$g psbo
|
