Газовые термоэлектрические и металлооксидные микросенсоры на основе тонкопленочных WO3, NiO и микропрофилированных подложек из Al2O3: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Куданович Олег Николаевич

Сохранено в:
Шифр документа: 26Н//3820(039), ##32Н//251299CD(055),
Вид документа: Диссертации
Автор: Куданович, О. Н.
Опубликовано: Минск , 2012
Физические характеристики: 165 л. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
СЕНСОРНЫЕ УСТРОЙСТВА
ГАЗОВЫЕ СЕНСОРЫ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СЕНСОРЫ
ГАЗОАНАЛИЗАТОРЫ
ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ
ТЕРМОКАТАЛИТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ
ОКСИДЫ МЕТАЛЛОВ
ОКСИД НИКЕЛЯ
ОКСИД АЛЮМИНИЯ
ТРИОКСИД ВОЛЬФРАМА
ОКИСНЫЕ ПЛЕНКИ
ПОДЛОЖКИ (электроника)
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
ВАКУУМНОЕ НАПЫЛЕНИЕ
ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ
Е-документ: E-документ
00000cbm0a2200000 id4500
001 BY-NLB-br0000900020
005 20180213164752.0
100 # # $a 20130121h20122012k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ab  $a aa 
200 1 # $a Газовые термоэлектрические и металлооксидные микросенсоры на основе тонкопленочных WO3, NiO и микропрофилированных подложек из Al2O3  $e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах  $f Куданович Олег Николаевич  $g научный руководитель Мухуров Н. И.  $g Национальная академия наук Беларуси, Государственное научное учреждение "Институт физики имени Б. И. Степанова Национальной академии наук Беларуси" 
210 # # $a Минск  $d 2012 
215 # # $a 165 л.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: л. 142—156 
328 # # $d Защищена 20.09.2012, утверждена 26.12.2012 
333 # # $a Электронная копия размещена с разрешения автора 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br0000833251 
606 0 # $3 BY-NLB-ar29804  $a СЕНСОРНЫЕ УСТРОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2496476  $a ГАЗОВЫЕ СЕНСОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1903715  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СЕНСОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar63017  $a ГАЗОАНАЛИЗАТОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4398781  $a ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4066360  $a ТЕРМОКАТАЛИТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2448302  $a ОКСИДЫ МЕТАЛЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2635022  $a ОКСИД НИКЕЛЯ   $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar78052  $a ОКСИД АЛЮМИНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2653069  $a ТРИОКСИД ВОЛЬФРАМА   $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2722583  $a ОКИСНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24113  $a ПОДЛОЖКИ (электроника)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4914454  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5171280  $a ВАКУУМНОЕ НАПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1733874  $a ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 681.586.72'33.072(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 681.586.67'33.072(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 543.27.082.62(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrrb 
686 # # $a 50.09.37  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 59.35.29  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 59.35.71  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 59.13.13  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 34.53.19  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-663835  $a Куданович  $b О. Н.  $g Олег Николаевич  $c кандидат технических наук 
702 # 1 $3 BY-SEK-320837  $a Мухуров  $b Н. И.  $g Николай Иванович  $c доктор технических наук  $f род. 1954  $4 727 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar2380680  $a Институт физики имени Б. И. Степанова  $c Минск  $4 995  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20120821  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br0000900020&fileID=9378916 

Схожие документы