Исследование физико-химических процессов и создание основ технологии химико-механического полирования материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Артемов Александр Серафимович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Артемов, А. С. |
| Published: | Москва , 2012 |
| Physical Description: |
45 с. : ил., табл.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||