Исследование физико-химических процессов и создание основ технологии химико-механического полирования материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Артемов Александр Серафимович
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Артемов, А. С. |
| Апублікавана: | Москва , 2012 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
45 с. : ил., табл.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||