|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000881657 |
| 005 |
20210503085150.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20121204d2012 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Плазменные источники химически активных ионов на основе разряда с полым катодом для обработки функциональных слоев микроплат
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 01.04.13 Электрофизика, электрофизические установки
$f Шевченко Евгений Федорович
$g [Северо-Кавказский федеральный университет]
|
| 210 |
# |
# |
$a Екатеринбург
$d 2012
|
| 215 |
# |
# |
$a 22 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 19—22 (27 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2665900
$a НАНОСТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23655
$a ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4914454
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-SEK-ar1638614
$a МОДИФИЦИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТЕЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12176
$a ИОННЫЕ ИСТОЧНИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar13985881
$a ПОЛЫЕ КАТОДЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.13
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.22
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.35.37
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.03.05
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar5504513
$a Шевченко
$b Е. Ф.
$g Евгений Федорович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20121204
$g psbo
|
