|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000771893 |
| 005 |
20120521140537.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20120320d2012 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Плазмохимический метод прямого получения поликристаллического кремния из его оксидов
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 01.04.14 Теплофизика и теоретическая теплотехника
$f Скрябин Андрей Станиславович
$g [Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2012
|
| 215 |
# |
# |
$a 16 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 15—16 (10 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3171698
$a ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18424
$a МИНЕРАЛЬНО-СЫРЬЕВАЯ БАЗА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23669
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1790749
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЙ СИНТЕЗ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar13234
$a КВАРЦ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2212609
$a ОКСИДЫ КРЕМНИЯ
$2 DVNLB
|
| 607 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar57232
$a Российская Федерация
$2 BY-auth
|
| 660 |
# |
# |
$a e-ru
|
| 686 |
# |
# |
$a 61.31.47
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 61.13.21
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 31.15.30
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.14
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar5052006
$a Скрябин
$b А. С.
$g Андрей Станиславович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20120320
$g psbo
|
