|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000725083 |
| 005 |
20220412163413.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20111212d2011 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка технологии получения слоев политетрафторэтилена химическим осаждением из газовой фазы
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Уваров Андрей Анатольевич
$g [Санкт-Петербургский государственный политехнический университет]
|
| 210 |
# |
# |
$a Санкт-Петербург
$d 2011
|
| 215 |
# |
# |
$a 18 с.
$c ил.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1756760
$a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar83383
$a ПОЛИТЕТРАФТОРЭТИЛЕН
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar83769
$a ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.51
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 61.61.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 61.13.21
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar4664439
$a Уваров
$b А. А.
$g Андрей Анатольевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20111212
$g psbo
|
