|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000688525 |
| 005 |
20220418160731.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20110812d2011 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.01
$f Коломийцев Алексей Сергеевич
$g [Южный федеральный университет]
|
| 210 |
# |
# |
$a Таганрог
$d 2011
|
| 215 |
# |
# |
$a 23 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 19—23
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1611433
$a СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar26346
$a ПРОФИЛИРОВАНИЕ (техн.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24113
$a ПОДЛОЖКИ (электроника)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12180
$a ИОННЫЕ ПУЧКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18306
$a МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2665900
$a НАНОСТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121092
$a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$a Коломийцев
$b А. С.
$g Алексей Сергеевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20110812
$g psbo
|
