Многокоординатная система перемещений на основе сегментного кольцевого привода прямого действия для оборудования микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Ареби Мажед Али
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Ареби, М. А. (род. 1968) |
| Published: | Минск , 2011 |
| Physical Description: |
21 с. : ил.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
ОФХ отдела книгохранения
| All : 2 , available: 2 | Available Place a Hold | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||