Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.01: защищена 23.04.10: утверждена 22.12.10 / Турцевич Аркадий Степанович

Сохранено в:
Шифр документа: 26Н//2774(039),
Вид документа: Диссертации
Автор: Турцевич, А. С. (род. 1958)
Опубликовано: Минск , 2009
Физические характеристики: 483 л. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ
МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ
ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ
ЛЕГКОПЛАВКОЕ СТЕКЛО
ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
ВОЛЬФРАМ
МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
СЕЛЕКТИВНОЕ ОКИСЛЕНИЕ
МИКРОСТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ
ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
Е-документ: E-документ
00000cbm0a2200000 id4500
001 BY-NLB-br0000647012
005 20220412164019.0
100 # # $a 20110325h20092010k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ab  $a aa 
200 1 # $a Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур микроэлектроники  $e диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук  $e 05.27.01  $e защищена 23.04.10  $e утверждена 22.12.10  $f Турцевич Аркадий Степанович  $g научный руководитель Емельянов Виктор Андреевич  $g УП "Завод транзистор", Научно-производственное объединение "Интеграл" 
210 # # $a Минск  $d 2009 
215 # # $a 483 л.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: л. 334—376 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br0000473795 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1733874  $a ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18308  $a МИКРОСТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2289446  $a СЕЛЕКТИВНОЕ ОКИСЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23671  $a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2493283  $a ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3170564  $a МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3171698  $a ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3262737  $a ЛЕГКОПЛАВКОЕ СТЕКЛО  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3334434  $a СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34175  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39284  $a ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar60038  $a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6196  $a ВОЛЬФРАМ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.772.1'14:621.793.3(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrrb 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.37  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.39  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.41  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 61.31.59  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar2502584  $a Турцевич  $b А. С.  $g Аркадий Степанович  $c доктор технических наук  $f род. 1958 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar2107521  $a "Интеграл"  $g научно-производственное объединение  $c Минск  $4 595 
712 0 2 $3 BY-RLST-ar139098  $a "Интеграл"  $g научно-производственное объединение  $c Минск  $b Филиал "Транзистор"  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20100324  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer/?markID=BY-NLB-br0000647012&fileID=5856695 

Схожие документы