|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000605190 |
| 005 |
20101226093922.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20101214d2010 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук
$e 05.27.01
$f Амиров Ильдар Искандерович
$g [Учреждение Российской академии наук "Физико-технологический институт РАН"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2010
|
| 215 |
# |
# |
$a 45 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 42—45 (48 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18306
$a МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2665900
$a НАНОСТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar45117
$a НАНОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3128229
$a ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar67566
$a НАНОТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.22
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.48
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22
$2 rugasnti
$v 6
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar1938522
$a Амиров
$b И. И.
$g Ильдар Искандерович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20101214
$g psbo
|
