|
|
|
|
|
00000cbm0a2200000 id4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000590908 |
| 005 |
20220412163949.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20101119h20092010k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ab
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Формирование функциональных слоев пошаговым и двойным легированием для интегральных микросхем с элементами субмикронных размеров
$e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.01
$e защищена 24.06.10
$e утверждена 13.10.10
$f Плебанович Владимир Иванович
$g научный руководитель Емельянов В. А.
$g Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники", Научно-производственное объединение "Интеграл"
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$d 2009
|
| 215 |
# |
# |
$a 150 л.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: л. 137—147
|
| 488 |
# |
0 |
$1 001BY-NLB-br0000509660
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2246902
$a КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3341921
$a МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18853
$a МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3334434
$a СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2644439
$a ЭЛЕКТРОННО-ДЫРОЧНЫЙ ПЕРЕХОД
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12158
$a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3367523
$a ПОВЕРХНОСТНАЯ ДИФФУЗИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar87382
$a ДЕФЕКТЫ В КРИСТАЛЛАХ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-br2203367
$a ТОЧЕЧНЫЕ ДЕФЕКТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar26909
$a РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2518
$a АННИГИЛЯЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.019(043.3)
$v 4
$z rus
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.315.592:669.782-172:621.793.18(043.3)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 53.41.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.14.23
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-677117
$a Плебанович
$b В. И.
$g Владимир Иванович
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar186905
$a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
$c Минск
$4 595
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar2107521
$a "Интеграл"
$g научно-производственное объединение
$c Минск
$4 595
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20100527
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u https://elib.nlb.by:8070/viewer/?markID=BY-NLB-br0000590908&fileID=5855161
|
