Влияние низкоэнергетичной ионно-плазменной обработки водородом, гелием, аргоном на свойства пластин монокристаллического кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.10 / Королик Ольга Васильевна

Сохранено в:
Шифр документа: 2Н//87749(039), 2Н//90736(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Королик, О. В.
Опубликовано: Минск , 2010
Физические характеристики: 22 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ
МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
ВЫРАЩИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ
ЧОХРАЛЬСКОГО МЕТОД
ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА
ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА
ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ
СТРУКТУРНЫЕ СВОЙСТВА
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000510472
005 20130430185410.5
100 # # $a 20100528d2010 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus  $d eng  $d bel  $d rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Влияние низкоэнергетичной ионно-плазменной обработки водородом, гелием, аргоном на свойства пластин монокристаллического кремния  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e 01.04.10  $f Королик Ольга Васильевна  $g Белорусский государственный университет 
210 # # $a Минск  $d 2010 
215 # # $a 22 с.  $c ил. 
300 # # $a Резюме на английском, белорусском, русском языках 
311 # # $a В фонде имеется имеется диссертация 
320 # # $a Библиография: с. 17—19 (19 назв.) 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br0000591236 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2381802  $a КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3341921  $a МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar42268  $a ВЫРАЩИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar65923  $a ЧОХРАЛЬСКОГО МЕТОД  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23928  $a ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1578239  $a ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38854  $a ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar52786  $a ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar32374  $a СТРУКТУРНЫЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.315.592:669.782-172:621.793.18(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.382.049.774-027.3:621.793.18(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 01.04.10  $2 nsnrrb 
686 # # $a 47.13.33  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.09.29  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 53.41.31  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar1610983  $a Королик  $b О. В.  $g Ольга Васильевна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20100528  $g psbo 
830 # # $a 18.06.2010 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br0000510472&fileID=1328520 

Схожие документы