Формирование функциональных слоев пошаговым и двойным легированием для интегральных микросхем с элементами субмикронных размеров: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Плебанович Владимир Иванович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Н//87612(039), 2Н//87613(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Плебанович, В. И.
Опубликовано: Минск , 2009
Физические характеристики: 22 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ
ЭЛЕКТРОННО-ДЫРОЧНЫЙ ПЕРЕХОД
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
ПОВЕРХНОСТНАЯ ДИФФУЗИЯ
ДЕФЕКТЫ В КРИСТАЛЛАХ
ТОЧЕЧНЫЕ ДЕФЕКТЫ
РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ
АННИГИЛЯЦИЯ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000509660
005 20220412164103.0
100 # # $a 20100527d2009 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus  $d bel  $d rus  $d eng 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Формирование функциональных слоев пошаговым и двойным легированием для интегральных микросхем с элементами субмикронных размеров  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.01  $f Плебанович Владимир Иванович  $g Учреждение образования "Белорусский государственный университет" 
210 # # $a Минск  $d 2009 
215 # # $a 22 с.  $c ил. 
300 # # $a Резюме на русском, белорусском и английском языках 
311 # # $a В фонде имеется диссертация 
320 # # $a Библиография: с. 17—19 (26 назв.) 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br0000590908 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2246902  $a КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3341921  $a МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18853  $a МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3334434  $a СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2644439  $a ЭЛЕКТРОННО-ДЫРОЧНЫЙ ПЕРЕХОД  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3367523  $a ПОВЕРХНОСТНАЯ ДИФФУЗИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar87382  $a ДЕФЕКТЫ В КРИСТАЛЛАХ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-br2203367  $a ТОЧЕЧНЫЕ ДЕФЕКТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26909  $a РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2518  $a АННИГИЛЯЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77.019(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.315.592:669.782-172:621.793.18(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 53.41.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.14.23  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-677117  $a Плебанович  $b В. И.  $g Владимир Иванович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20100527  $g psbo 
830 # # $a 24.06.2010 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br0000509660&fileID=1328503 

Схожие документы